超高分辨散射式近場光學顯微鏡是款散射型掃描近場光學顯微鏡（簡稱s-SNOM），化的散射式核心設計技術，提高了光學分辨率，并且不依賴于入射激光的波長，能夠在可見、紅外和太赫茲光譜范圍內，提供于10nm空間分辨率的光譜和近場光學圖像。